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高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)

簡要描述:高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)采用*制造工藝,可把平面納米壓印拓展到任意曲面。標準模板分為三類:Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2“、3“、4“。適用于Obducat,Suss,HP,EVG等多種型號的納米壓印設備。

  • 產品型號:石英/硅/聚合物模板
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2022-04-24
  • 訪  問  量:2519
詳情介紹

高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)技術參數:  

Deliveryofnanoimprinttemplatesinvariousmaterials(Si,SiNx,SiC,quartz,glass).Maximumareaofthetemplates:4inchwithfeaturesizeof100nm.Forsmallerarea,minimumfeaturesizeof50nm.  

提供各種材料的納米壓印模板(硅,氮化硅,碳化硅,石英玻璃)。模板zui大尺寸:4英寸,特征尺寸為100nm。對于更小的尺寸,zui小的特征尺寸可以達到50nm。  

DeliveryofEBLserviceforvariousstructureswiththefeaturesizedownto30nm.Substrates:anyconductingornon-conductingwafers.  

提供zui低30nm特征尺寸的各種結構的電子束刻蝕服務?;澹喝魏螌щ娀蛘叻菍щ娋?。  

MicroandnanofabricationsforallkindsofnanostructuresinaSi,III-V,II-VIandpolymers.  

各種納米結構(硅,III-V族元素,II-VI族元素以及聚合物)的微納米加工。  

高分辨率納米壓印模板(Mold for nanoimprint lithography)主要特點:  

softmoldforthermalnanoimprint熱壓印的軟模板  

quartzmoldforUVnanoimprint紫外壓印的石英模板  

siliconmoldforthermalnanoimprint熱壓印的硅模板

 

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